事業部内容

【品質管理体制】
当社、装置システム事業部は
国際標準 品質規格 ISO9001を
取得し品質管理を行っております。

お客様のニーズに、最厚の心と最高の技術でお応えします

主な事業部内容 

事業部内容

装置システム事業部は、半導体製造装置から一般工業、自動車産業・航空宇宙産業まで幅広く、 高純度ガス技術・真空技術を活かした部品・装置の設計製作をご提案いたします。

製造装置・設計製作

個々のお客様の生産装置を弊社の技術を駆使して、ものづくりを支援いたします。
基本構想または企画原案を頂き、弊社にて設計し具体化した後に実際に装置を組立、調整、検査を実施し
お客様に納入いたします。
既成の装置ではなく、オンリーワン、1品1様の、他には無いカスタマイズ装置の製作が可能となります。
また、設計、組立からソフトウェア製作、現地搬入まで一貫して対応いたします。

ご要望に応える、オーダーメイドのこだわり

設計製作のフロー

設計製作のフロー

高純度ガス配管製作

半導体製造装置事業で得た、他の追随を許さない高品質

装置システム事業部では、創業当初より半導体製造装置事業に携わってきました。
とても厳しい基準をクリアし続けた結果に得た、数ミクロンの塵をも許さない繊細な技術は私たちの誇りです。
この卓越した超クリーン技術は 半導体製造分野のみならず検査機械、医療機械、航空宇宙産業まで幅広く活躍しております。
お客様からの高い信頼と評価が、何よりの証拠です。

戸倉工業の高純度ガス配管の特徴

技術品目

戸倉工業の約束

パーティクルフリー クリーン対応の施工環境
溶接ビードコントロール 溶込量、ビード幅の制御
ベンディング、端面処理 蓄積したノウハウ
高機能特性 耐圧、引張強度、耐腐食性、脱ガス特性

配管製作例

半導体装置用ガス配管

【半導体装置用ガス配管】

材質 SUS316
グレード EP/BA
継手 VCR継手

配管工事・分析

お客様工場内にて装置までのユーティリティー配管の現地施工を弊社にて対応いたします。弊社技術スタッフが施工計画から気密検査まで迅速に実施します。
また、当社の卓越した技術者により、図面が無い場合においても、お客様の装置内配管を現合にて施工いたします。
その他、施工配管のガス純度分析(API-MS)等の対応も可能です。

ガス配管
TIGガス配管

クリーンルーム

本社クリーンルーム

組立エリア
半導体装置用ガス配管

【仕様】

床面積 150㎡
クラス 10,000
天井高さ 3m
設備 自動溶接機
Heディテクタ
パイプカッター

 

【お問合せ】

電話 042-323-5400
FAX 042-323-1582
クリーンベンチ
半導体装置用ガス配管
 

本社第2工場

1F作業場
1F作業場
2F検査・梱包室
2F検査・梱包室

【仕様】

床面積 100㎡
天井高さ 2.5m
設備 自動溶接機
Heディテクタ
半自動パイプ切断機
自動チューブ溶接機

 

【お問合せ】

電話 042-312-4325
FAX 042-312-4326

本社第3工場

本社第3工場 本社第3工場

【仕様】

床面積 250㎡
天井高さ 5.5m
クレーン高さ 3.5m
シャッター開口 幅5.2m×高さ3.6m
設備 1.5tonホイストx2台
0.8MPaエアコンプレッサー
Heディテクタ
50MPa昇圧器
冷却水循環器

 

【お問合せ】

電話 042-470-1170
FAX 042-420-1771

富山工場クリーンルーム

組立エリア
クリーンルーム

【仕様】

床面積 200㎡
クラス 1,000
対流方式 コンベンショナル方式
天井高さ 3.8m
設備 Heディテクタ
スケール
パイプカッター他 
溶接エリア
クリーンルーム

【仕様】

床面積 50㎡
クラス 100
対流方式 ダウンフロー方式
天井高さ 3m
設備 自動溶接機他
プレハブ倉庫(倉庫外観)
プレハブ倉庫(倉庫外観)
プレハブ倉庫(1F加工場)
プレハブ倉庫(1F加工場)

【仕様】

床面積 39.47㎡
天井高さ 1F:3.0m、2F:2.6m
シャッター開口 幅1.7m×高さ2.3m(2箇所)

 

 

【お問合せ】

電話 076-454-2500
FAX 076-454-2562

部品販売

部品販売

【部品販売主要品目】

ダイアフラムバルブ
マスフローコントローラ
配管継手
真空配管
クランプ類
ベローズ
真空計
APC
流量計
圧力センサー
ガス検知器
磁性流体シール
真空ポンプ

その他営業品目

装置・ユニット
MO-CVD装置
He検査装置
イオンプレーティング装置
CVD装置
スパッタ装置
超臨界装置
アッシング装置
酸化装置
アニール装置
ガス供給ユニット
排気ユニット
トランスファーユニット
真空ポンプユニット
シリンダーキャビネット
ボンベスタンド
配管・ソフト
半導体装置向けプレファブガス配管
宇宙向けプレファブガス配管
真空チャンバー製作及び電解研磨処理
真空排気配管製作
電気制御盤製作
装置PLCシーケンスソフト
装置PC制御ソフト
分析・検査
APIMS(大気イオン化質量分析)
蛍光浸透探傷検査
放射線検査
Heリーク検査
耐圧気密検査
工事・作業
高純度ガス配管工事
真空配管工事
冷却水工事
ダクト配管工事
電気配線ラック工事
装置移設搬入撤去作業
装置内配管作業
装置内配線作業
配管HYPER処理
部品・販売
トクランプ製品
真空部品
配管部品
バルブ継手類
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