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ISO9001:2000認証取得のお知らせ


超クリーン技術が支える、クオリティへの自信
数ミクロンの塵をも許さない繊細な技術を要する半導体製造の世界。当社の卓越した超クリーン技術は 半導体製造分野のみならず検査機械、医療機械等、すでに多岐にわたる分野に導入され、高い評価を頂いております。 本社地下は約150u、甲府営業所には約250uのクリーンルームを設置。塵ひとつない理想的な環境のなか高純度ガス配管、及び装置の製造等に取り組んでおります。



横型CVD用排気ユニット

縦型CVD用排気ユニット

原子層制御反応システム
排気ユニット

現地配管工事



提案型企業の中心的存在として、新システムを開発
半導体製造装置の設計から施工、さらには、新システムの提案までを手がける当社では、設計開発事業にも注力。専門知識、技術を備えたスタッフが、各種システム装置の設計はもちろん、新システムの開発まで行っています。私たちが目指すもの、それはあらゆるシステムを構築し、個々のお客様のご要望にあわせた開発を行う提案型企業。設計開発部はその中心的存在となって、新技術の開発に努めております。


PE-CVD用ハイキユニット

ガスパネル

キッツSCT社製
集積ガスユニット

研究用LPアニール装置

ガス配管例

フジキン社製集積ガスユニット


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戸倉工業株式会社
―高純度ガス設備事業部―


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