移動する基板表面をHeat Beam システムにて500℃まで加熱し薄膜を形成するCVD装置。
仕様
| 基板温度 | 500℃ |
| HBシリンダー | 1.3kw×6 |
| 基板サイズ | □100mm×100mm |
| 使用ガス | H2/N2 |
| 使用液体原料 | 3原料 |
| ガス制御 | MFC9台セミオート |
| 制御システム | PLC+タッチパネル×2 |
| 搬送方式 | サーボモーター、ボールネジ、LMガイド |
HB-CVD装置のご購入をご検討の方は、
（株）フィルテックへお問い合わせください。
【品質管理体制】
当社、装置システム事業部は
国際標準 品質規格 ISO9001を
取得し品質管理を行っております。
半導体液晶装置分野
| 装置名 | 用途・内容 | 分野 | 製作範囲 |
|---|---|---|---|
| MO-CVD装置（GaN） | LED、LD、パワーデバイス向け | 化合物 | 装置 |
| MO-CVD装置（GaAs） | LD、高周波トランジスタ | 化合物 | 装置 |
| MO-CVD装置ガスユニット | GaN | 化合物 | ユニット |
| MO-CVD装置ガスユニット | GaAs | 化合物 | ユニット |
| MO-CVD装置排気ユニット | GaN | 化合物 | ユニット |
| MO-CVD装置リアクターユニット | GaN | 化合物 | ユニット |
| MO-CVD装置ロードロックユニット | GaN | 化合物 | ユニット |
| アッシング装置 | 300mm ICPプラズマ | 半導体 | 装置 |
| アッシング装置ガスユニット | 1.5inc集積バルブ | 半導体 | ユニット |
| アッシング装置冷却水ユニット | 集積型流量計 | 半導体 | ユニット |
| WET酸化装置 | 化合物半導体向け | 化合物 | 装置 |
| LPアニール装置 | ４インチ 縦型 | 半導体 | 装置 |
| 高純度アンモニア供給装置 | 500kgボンベ 大流量 | 化合物 | 装置 |
| P-CVD装置ガスユニット | SiN | 有機EL | ユニット |
| LP-CVD装置ガスユニット | 縦型バッチ式 6`～12` | 半導体 | ユニット |
| LP-CVD装置排気ユニット | 縦型バッチ式 6`～12 | 半導体 | ユニット |
| LP-CVD装置パージユニット | 縦型バッチ式 8～12 | 半導体 | ユニット |
| エピタキシャル成長装置 | ２チャンバー、誘導加熱型 | 半導体 | 装置 |
| HVPE装置用ガスユニット | H-VPE ガス供給 | 化合物 | ユニット |
| スパッタ装置ガスユニット | イオンビームスパッタ装置 | 半導体 | ユニット |
| スパッタ装置冷却水ユニット | イオンビームスパッタ装置 | 半導体 | ユニット |
| レーザーアニール装置ガスユニット | TFT 低温Poly-Si | 液晶 | ユニット |
| フッ素発生装置 | F2 | 半導体 | ユニット |
| シリンダーキャビネット | 各種ガスに対応 自動制御含む | 半導体 | ユニット |
| ボンベスタンド | 各種ガスに対応 | 半導体 | ユニット |
| パルス光実験装置 | 露光装置用レーザー実験装置 | 半導体 | 装置 |
| 窒素循環精製装置 | 有機EL装置用、ガス精製ユニット | 有機EL | ユニット |
| レーザー加熱装置チャンバー製作 | 基板急速加熱装置、真空容器 | 半導体 | ユニット |
| 排気セット（TMP+DP） | 装置リークテスト用補助ポンプ | 半導体 | ユニット |
一般工業分野 自動車、航空、宇宙産業
| 装置名 | 用途・内容 | 分野 | 製作範囲 |
|---|---|---|---|
| He検査装置 | 部品汎用検査用 | 自動車 | 装置 |
| He検査装置 | He検査、実験・評価装置 | 自動車 | 装置 |
| He検査装置 | コンプレッサーリアケース用 | 自動車 | 装置 |
| He検査装置 | 燃料パイプ用 | 自動車 | 装置 |
| 流量測定装置 | 燃料パイプ用 | 自動車 | 装置 |
| He検査装置 | カーエアコン、コンプレッサー用 | 自動車 | 装置 |
| He検査装置 | オイルクーラー用 | 自動車 | 装置 |
| He検査装置 | フューエルパイプ用 | 自動車 | 装置 |
| He検査装置 | ラジエータータンク用 | 自動車 | 装置 |
| He検査装置 | ハウジング用 | 自動車 | 装置 |
| He検査装置 | 電池ケーシング用 | 自動車 | 装置 |
| He検査装置 | ウォータージャケット用 | 自動車 | 装置 |
| He検査装置 | オイルポンプ用 | 自動車 | 装置 |
| He検査装置 | 旅客機用漏洩テストスタンド 【スニファー方式】 |
航空 | ユニット |
| He検査装置 | 航空機用燃料タンク用 【スニファー方式】 |
航空 | ユニット |
| He検査装置 | 航空機用燃料系統用 【スニファー方式】 |
航空 | ユニット |
| 大型イオンプレーティング装置 | 切削工具向けコーティング装置 TiN/TiAlN |
機械工具 | 装置 |
| 小型イオンプレーティング装置 | 切削工具向けコーティング装置 TiN/TiAlN |
機械工具 | 装置 |
| マグネトロンスパッタ装置 | DLCコーティング装置 | 機械工具 | 装置 |
| 溶解式イオンプレーティング装置ソフト | PC制御 GUI | 機械工具 | 制御システム |
| コーティングCVD装置ガスユニット | コーティング材料ガス供給 | 機械工具 | ユニット |
| 超臨界CO2定量供給装置 | 一般用供給装置 | 一般工業 | 装置 |
| 超臨界CO2塗装装置 | 塗装装置 | 一般工業 | 装置 |
| 簡易型超臨界CO2塗装装置 | 塗装装置 | 一般工業 | 装置 |
| 炭酸ガスPH調整装置 | 排水のPH調整装置 | 一般工業 | 装置 |
| HB-CVD装置 | ヒートビームを使ったCVD装置 | 一般工業 | 装置 |
| 卓上HB装置 | 汎用卓上基板アニール装置 | 一般工業 | 装置 |
| 吸着剤評価装置 | 触媒加熱実験分析・評価 | 一般工業 | 装置 |
| API-MS質量分析装置 | 分析ユニット製作 | 一般工業 | 装置 |
| ガス透過量評価装置 | 触媒、材料のガス透過量の評価 | 化学 | 装置 |
| 触媒反応評価装置 | 触媒、材料の分析・評価 | 化学 | 装置 |
| 圧力制御ユニット | 研究用デシケータ圧力制御 システム |
化学 | ユニット |
| 消臭脱煙装置 | 触媒反応を利用した触媒装置 | 畜産 | 装置 |
| エチレン供給装置 | 燃焼実験用、エチレン大流量供給装置 | 宇宙 | 設備 |
| 流量測定ユニット | 標準流量、流量校正ユニット | 一般工業 | ユニット |
| 大気圏観測機用配管 | 観測機内ガス配管製作 | 宇宙 | 部品 |
| 宇宙向け実験装置用配管 | 宇宙ステーションきぼう内、 実験装置ガス配管 |
宇宙 | 部品 |
| 宇宙向けセンサー評価ユニット | 圧力センサー、チャンバー 内加圧、実験評価 |
宇宙 | ユニット |
| 薬液噴霧装置 | 衛生研究所向け消毒液噴霧 システム |
医療 | 装置 |
| ドアインターロックシステム | 製薬会社向け防爆インターロックシステム | 薬品 | 設備 |
| 排水浄化装置 | 排水をオゾンにて浄化する装置 | 環境 | 装置 |
HB-CVD装置
卓上HB装置
基板表面をHeat Beam システムにて1000℃まで加熱しアニール処理する卓上小型装置。
仕様
| ガス温度 | 1000℃ |
| HBシリンダー | 1.3kw×6 |
| 基板サイズ | □50mm×50mm |
| 使用ガス | N2、Ar |
| ガス制御 | 流量計ニードル手動 |
| 制御システム | PLC+手動スイッチ類 |
| 搬送方式 | ロボシリンダー |
卓上HB装置のご購入をご検討の方は、
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Heリークテスト装置
自動車部品、燃料パイプ部品のリークテストを行う装置。
仕様
| テスト圧 | 20MPa |
| チャンバー材質 | ステンレス |
| チャンバーサイズ | 600*300*200 |
| 測定範囲 | 5×10-7Pam3/sec |
| 電源 | AC200V |
| 重量 | 700kg |
流量測定装置
自動車部品、燃料パイプ部品の流量測定を行う装置。
仕様
| 電源 | AC200V |
| 重量 | 100kg |
ヘリウムリークテスト装置
自動車部品（燃料系部品、油圧系部品）カーエアコン部品空調部品、電子部品などのより高密封性が要求される部品のリークテストを行う装置。
仕様
| テスト圧 | 0.9MPa |
| チャンバー材質 | ステンレス |
| チャンバーサイズ | Φ200 |
| 測定範囲 | 5×10-7Pam3/sec |
| 電源 | AC200V |
| 重量 | 300kg(本体) |
Heリークテスト実験・評価装置
自動車部品（燃料系部品、油圧系部品）カーエアコン部品空調部品、電子部品などのより高密封性が要求される部品のリークテストを行う装置。
仕様
| テスト圧 | 0.9MPa |
| チャンバー材質 | ステンレス |
| チャンバーサイズ | 400×600×600 |
| 測定範囲 | 5×10-7Pam3/sec |
| 電源 | AC200V |
| 重量 | 700kg |
Heリークテスト装置
自動車部品、カーエアコン、コンプレッサーリアハウジング部品のリークテストを行う装置。
仕様
| テスト圧 | 0.9MPa |
| チャンバー材質 | ステンレス |
| チャンバーサイズ | Φ500 |
| 測定範囲 | 5×10-7Pam3/sec |
| 電源 | AC200V |
| 重量 | 500kg |
MO-CVD装置(GaN)
青色LED用のGaN MO-CVD装置。
仕様
| 加熱方式 | 誘導加熱 |
| チャンバー材質 | 石英 |
| ウェーハ数量 | 4`×20 |
| 原料数 | 8式 |
| 制御システム | PLC+PC GUI |
MO-CVD装置(GaAs)
赤色LD用のGaAs MO-CVD装置。
仕様
| 加熱方式 | ランプヒーター加熱 |
| チャンバー材質 | ステンレス |
| ウェーハ数量 | 2`×8枚自公転フェイスダウン |
| 原料数 | 10式 |
| 制御システム | PLC+PC GUI |
吸着剤評価装置
吸着剤を加熱し評価・分析する装置。
仕様
| 加熱方式 | ジャケットヒーター |
| 制御システム | PLC+タッチパネル |
| 使用ガス | 液化炭酸ガス |
| 重量 | 400kg |